金融界2025年8月5日音讯，国家知识产权局信息数据显现，清华大学;华海清科股份有限公司请求一项名为“一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载设备”的专利，公开号CN120395677A，请求日期为2019年12月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载设备，包含承载头和上部气动组件，所述承载头经过衔接组件耦接至所述上部气动组件，所述衔接组件包含定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销和法兰盘由金属材料制造成，所述定位销的部分或悉数外表设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘触摸不发生金属污染物。

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